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扫描电镜的真空系统主要包括真空泵和真空柱
点击次数:756 更新时间:2023-04-23
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电镜主要由七大系统组成,即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。
扫描电镜低压束流极大增强,分辨率提高,宽泛低真空范围利于观察更多类型的不导电的样品,特别是操作系统的自动化速度和准确性,简单3步即可完成,不仅提高作业速度,而且方便初学者操作。
主要特点:
1、低电压低真空表现优异,可观察不良导体的表面形貌和细节信息.
1、自动化功能速度快,自动准确度高,适合高吞吐量工作和电镜操作基础薄弱者操作。
应用领域:
1、生物医学
2、食品卫生
3、电子半导体
4、汽车制造
5、新能源
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。

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